原子级粗糙度对垂直β-Ga₂O₃肖特基势垒二极管及高温性能的影响 β-氧化镓（β-Ga2O3）是制造下一代大功率电子器件的理想材料之一。其中，垂直结构肖特基势垒二极管（SBD）因其能承受大电流和高电压而备受关注。器件的性能，特别是反向漏电流和击穿特性，对金属/半导体界面的质量极为敏感。界面处的缺陷和不平整会引起电场集中，导致 高温 二极管 肖特基势垒 原子级 肖特基势垒二极管 2025-10-21 08:56 4